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什么是干膜感光速度?什么是干膜曝光时间宽容度?

2020-12-12 18:09:17

1.干膜感光速度是多少?
干膜的感光速度是指光致抗蚀剂受到紫外光照射时的光能量,与聚合单体发生聚合反应形成具有一定耐腐蚀性的聚合物所。在光源强度和光距固定的情况下,感光速度以曝光时间的长短为特征,曝光时间短意味着感光速度快。
2.干膜曝光的时间公差是多少?
经过一段时间的干膜曝光后,所有或大部分光刻胶层已经显影聚合。一般来说,可以使用形成的图案,这个时间称为最小曝光时间。继续延长曝光时间,使光刻胶聚合得到彻底的处理,显影后得到的图案尺寸仍与胶片底片尺寸一致,称为最大曝光时间。通常干膜的最佳曝光时间在最小曝光时间和最大曝光时间之间。最大曝光时间与最小曝光时间之比称为曝光时间容差。

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