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行业资讯 
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2020-12-11 18:19:50
1、干膜性能不良，超过有效期使用；
2、基板表面清洁不干净或粗化表面不良，干膜粘附不良；
3、贴膜温度低，传送速度快，干膜贴得不牢；
4、曝光能量过高导致抗蚀性发脆；
5、曝光能量不足显影速度过慢造成抗蚀剂发毛边缘起翘；
6、电镀前处理药液温度过高等。
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