氯化反应太剧使蚀刻机周围充满了氯气 ORP测头太脏 检查测头,如发现尖端有氧化物时,用橡皮擦拭
测头不标准 测头在装机时应该先校正
氯气源到蚀刻槽间的管路漏气 用浸过稀氨水的湿布沿沿管路附近移动,漏氯气处立即出白雾状的氯化铵即为明证
控制氯气流量电磁阀漏气 更换
蚀刻速率突然减慢 回收反应减慢或失效 如用氯气时检查出气管路有否结冻死,可用电风扇吹之使解冻/如用其他方式时,检查化学品槽是否用完或管路或电磁阀的问题
管路漏水致使蚀液稀释 蚀液比重是否下降,应在1.261-1.283,太低时表示有水漏入,要检查冷凝管及其他可能的来源
蚀速减慢 ORP设定的毫伏数太低 不可低于500毫伏,否则再生能量会不够
蚀液被漏水处或板子带入的水所稀释 检查漏水处,或在输送线中加装气幕或挤水的橡皮轮
比重太高 应维持在1.261-1.283间(55℃)
过蚀 输送速度太慢 调整
蚀液中盐酸太多 分析盐酸含量,并检查管路
比重太低 在55℃下检查其比重是否仍在上述范围,可增加含铜量以提高比重
蚀液发生过度再生 检查设定之ORP数据,应在500-540毫伏间.
蚀刻不足 输送速度太快 确定铜厚与输送速度关系
蚀液温度太低 调整
比重太高 加水稀释至范围内
喷压不够 检查液面是否太低,导致马达抽空或管路漏水
蚀液再生不足 检查ORP设定